| 序號(hào) | 儀器圖片 | 儀器名稱(chēng) | 儀器型號(hào) | 功能 | 操作 | 
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											面形檢測(cè)系統(tǒng)(6寸ZYGO干涉儀) | 6寸 | 光譜分析 | 查看詳情> | 
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											離子束超光滑制造裝置真空系統(tǒng) | 定制 | 真空試驗(yàn) | 查看詳情> | 
| 3 | 
																									 
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											離子束刻蝕機(jī) | icp-200ipn | 光學(xué)加工 | 查看詳情> | 
| 4 | 
																									 
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											散射式近場(chǎng)光學(xué)顯微成像系統(tǒng) | neaSNOM | 結(jié)構(gòu)分析 | 查看詳情> | 
| 5 | 
																									 
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											線寬測(cè)試電子顯微鏡 | S-8840 | 結(jié)構(gòu)分析 | 查看詳情> | 
| 6 | 
																									 
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											深硅刻蝕機(jī) | NMC 508E | 光學(xué)加工 | 查看詳情> |